תהליך הייצור של אסטרים פוספטים כולל בעיקר את השיטות הבאות:
שיטת זרחן פנטוקסיד: זוהי השיטה הנפוצה ביותר, באמצעות זרחן פנטוקסיד (P2O5) כדי להגיב ישירות עם אלכוהולים לצורך אסתר. שיטה זו פשוטה להפעלה וקלה להגיב. נכון לעכשיו, כ -70% מאסטרי הפוספט התעשייתי משתמשים בשיטה זו.
שיטת זרחן טריכלוריד: שיטה זו כוללת שלושה שלבים. ראשית, זרחן טריכלוריד (PCL3) מגיב עם תרכובות הידרוקסיל בטמפרטורת החדר, ואז הידרוליזה, ולבסוף מנטרל לייצור אסטרים פוספטים. לשיטה זו יש גם יישומים מסוימים.
שיטת זרחן אוקסיכלוריד: זרחן אוקסיכלוריד (POCL3) משמש להגיב עם אלכוהולים לייצור אסטרים פוספטים. לשיטה זו יש גם יישומים מסוימים.
שיטת חומצה פוליפוספורית: חומצה פוליפוספורית משמשת להגיב עם אלכוהולים לייצור אסטרים פוספטים.